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多晶硅铸锭的退火降温文硅锭处理

来源:http://www.garyfey.com 责任编辑:w66利来国际老牌 更新日期:2018-10-23 11:57

  多晶硅铸锭的退火降温文硅锭处理

   文/史珺博士

  (一)退火降温

  退火指供给一个环境使硅锭的温度以一个缓慢的速度趋于共同,并坚持一段时刻。退火能够消除硅锭内部的应力,还能把长晶进程中存在的位错等缺点给与必定程度的消除,使得晶体不容易碎裂。即使长晶很顺畅,退火不妥也会形成硅锭的决裂。关于下一步要进行切片用的铸锭来说,决裂就等于废品。假如仅仅是提纯而不需求铸锭,一个完好的硅锭也比决裂的规则便于处理,如去顶部和边皮等。因而,退火进程肯定不能忽视,不能因为长晶现已完结,到这个时分就粗心处理。

  长晶完结后,因为顶部温度较高,因而,需求坚持温度渐渐降温。一般,使功率从结晶时的功率依照一个很定的速率下降,一同,将保温体下降,在保温体降究竟时,功率也降到最低值。

  退火温度有不同的说法。有的在1300 ℃进行保温,这是所谓的高温退火;有的在1100 ℃左右退火,称为低温退火。

  最佳的退火温度有争议。一般以为应当是长晶完结时,硅锭顶部和底部的温度的中心值,这个说法尽管看起来有道理,可是,还要考虑硅从冷态升温到退火温度,和从热态降温到退火温度,所接受的热应力是不同的。冷态升温,热应力好像更大一些,从这个视点来说,ag88环亚娱乐,退火温度应当在1100 ℃左右比较适宜。

  退火时刻依据理论和经历,在3-4小时,之后,在退火温度下再保温3小时左右,之后,就能够进行有弥补加热的天然降温了。

  所谓有弥补加热的天然降温阶段,先使硅锭在保温体内部进行缓慢降温,并且加热体也应当给少数的温度,使得温度不要降得太快。在温度到900 ℃今后,则能够封闭功率,使其彻底进行天然降温。

  一般以为温度到400 ℃以下,能够翻开炉子,然后到100 ℃左右将坩埚连护板取出,但要放在密闭无风的房间里,比及12小时以上,才干拆下护板和坩埚。

  (二)硅锭处理

  硅锭从炉内取出时,最好连护板和底板一同取出,比及温度缓慢冷却后才拆下护板,避免降温过快形成硅锭开裂。拆下护板后,先要对硅锭进行出产记载。

  硅锭的数据记载

  对每个硅锭要进行如下数据记载:

  摄影,并要做好方向标明,标明方向时,关于每个硅锭的炉号、在炉内的方位(指一炉四锭的炉子,单锭炉不用),出产批号和实践,记载人名字。

  丈量硅锭的尺度,包含12个边的边长和四侧的中心高度;

  称重量;

  假如硅锭有反常,要记载反常现象。如裂缝的长度和方位,顶部有拱起的话,拱起的面积、尺度和方位;有可能的话尽量摄影。

  硅锭的数据是出产质量查核的重要依据。此外,硅锭的数据关于出产工艺的剖析、质量进步、工艺改善都有重要的效果,所以应当妥善归档保存。

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